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中國(guó)電科旗下電科裝備研制成功的離子注入機(jī)。中國(guó)電科 供圖
中新網(wǎng)北京3月17日電 (記者 孫自法)記者17日從中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司(中國(guó)電科)獲悉，該集團(tuán)旗下電科裝備已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化，可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案。
中國(guó)電科介紹說，離子注入機(jī)是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。電科裝備連續(xù)突破大流強(qiáng)長(zhǎng)壽命高品質(zhì)離子源、高速晶圓傳輸?shù)取翱ú弊印标P(guān)鍵技術(shù)，自主研制出中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)，工藝段覆蓋至28納米，已累計(jì)形成核心發(fā)明專利413項(xiàng)，實(shí)現(xiàn)中國(guó)芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展，將有效緩解中國(guó)芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。
中國(guó)電科表示，下一步，電科裝備將瞄準(zhǔn)高端，緊跟先進(jìn)工藝發(fā)展，加快推進(jìn)適用于更先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)離子注入機(jī)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。
據(jù)了解，中國(guó)電科是中國(guó)軍工電子主力軍、網(wǎng)信事業(yè)“國(guó)家隊(duì)”、國(guó)家戰(zhàn)略科技力量，擁有電子信息領(lǐng)域相對(duì)完備的科技創(chuàng)新體系。目前，中國(guó)電科旗下包括47家國(guó)家級(jí)研究院所、11家上市公司在內(nèi)的企事業(yè)單位500余家，員工20余萬名，并擁有35個(gè)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、研究中心和創(chuàng)新中心。
