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離子注入機閃耀珠海航展
來源:新聞中心
發(fā)布時間:2021年09月26日 編輯:新聞中心

  離子注入機是芯片制造中的核心關(guān)鍵裝備。中國電科連續(xù)突破大流強長壽命高品質(zhì)離子源、高速晶圓傳輸?shù)群诵年P(guān)鍵技術(shù),自主研制中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機,工藝段覆蓋至28nm,累計形成核心發(fā)明專利413項,實現(xiàn)我國芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機自主創(chuàng)新發(fā)展,有效緩解我國芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。

  截止到目前,中國電科已成功實現(xiàn)離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化,可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機一站式解決方案。下一步,將瞄準(zhǔn)高端,緊跟先進工藝發(fā)展,加快推進適用于更先進工藝節(jié)點離子注入機的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。

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